產(chǎn)品導(dǎo)航Product
- 技術(shù)規(guī)格
- 品牌介紹
儀器參數(shù)：
一、粗糙度測量
X 軸 (驅(qū)動部)
1.測量范圍: 100mm
2.分辨率: 0.5μm
3.長度基準(zhǔn): 高精度位移傳感器
4.驅(qū)動速度: 0 – 10mm/s
5.測量速度: 0.5 - 2mm/s
Z 軸 (立柱)
1.類型: 電動操作
2.垂直移動: 350mm
檢測器
1.范圍／分辨率: 1000μm / 0.01μm
2.測針針尖: 2um
3.示值誤差: ±5%-—±7%
4.測量重復(fù)性: ± 3% -—-±5%
5.類型: 差動電感式
6.驅(qū)動裝置的控制:手動或 PC 操作
評價參數(shù)
1.Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,
Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,
mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2
取樣長度
1.0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
數(shù)據(jù)補(bǔ)償功能
傾斜補(bǔ)償，R 平面(曲面) 補(bǔ)償，橢圓補(bǔ)償，拋物線補(bǔ)償，
雙曲線補(bǔ)償，二次曲線自動補(bǔ)償，多項式補(bǔ)償，多項
式自動補(bǔ)償
二、輪廓測量
1.測量范圍:≤100mm
2.分辨率: 0.1μm
3.測量速度: 0.2, 0.5、1mm/s
4.測量方向: 向后
5.指示精度: ±(3.5+2L/100)μm
* L = 測量長度 (mm)
6.測針上／下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動
7.測針方向: 向下
8.測力: 10 - 30mN
9.測針針尖半徑: 25μm, 硬質(zhì)合金針尖
